セイコーインスツルは、主に半導体を製造している千葉県松戸市の高塚事業所に、代替フロンなどの温室効果ガスの排出を抑制する設備を導入し、4月からCO2換算排出量を90％、年間で2万t削減する。同事業所は同社で唯一、生産工程で温室効果ガスを使っている。
半導体製造では製造プロセスとドライクリーニング用に、代替フロンガスの六フッ化硫黄、ハイドロフルオロカーボン類、パーフルオロカーボン類が使われ、大気中に排出されている。これらのガスは、強い温室効果を持つことから京都議定書の削減対象になっている。
同事業所では、温室効果ガスのうち、温暖化への影響を持続時間も考慮してCO2との比で表す「地球温暖化係数」が高い六フッ化硫黄などを分解処理することにした。設備には電熱式を採用し、エネルギー起源のCO2を低減。抑制装置の台数を抑えられるシステムにするとともに、抑制工程で使う窒素ガスを再利用できるようにした。
排出抑制設備の導入は新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）の2009年度地域地球温暖化防止支援事業に採択。同社は今回の取り組みを機に、グループとしてさらに環境保全の活動を進めていく。(日経BP環境経営フォーラム）
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